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数显型小量程流量控制器(流量计)

文章来源:北京凯利得精密仪器有限公司  更新时间:2023-03-27 15:44:32
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  产品简介

  K90系列小量程流量气体质量流量控制器/流量计由质量流量传感器、层流原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成,它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成,其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的信号进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。用以准确可靠的测量和控制气体质量流量,测量和控制精度高、零飘小,测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域。


  技术特点

  1、采用热式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。

  2、管状分流原理,便于更改量程,安装简易。

  3、良好的传感器封装,减少外部温度变化的敏感性。

  4、测量和控制的量程范围大,最大满量程可达30ln/min

  5、预热时间短、零飘小、测量和控制精度高,适用于微小流量的测量和控制。

  6、可通过二次仪表或者PLC与仪表进行通讯,操作简单。

  7、可直接与上位机连接,实现组网,便于操作。


  技术参数

  量 程: 5…500mln/min 1…30ln/min

  准 确 度:±1.0%F.S

  量 程 比:流量控制器:50:1 流量计:100:1

  重复精度:±0.2%F.S

  线性精度:±0.5%F.S

  响应时间:<1sec

  稳 定 性:±0.1%F.S

  环境温度:5…55℃

  温度系数:<±0.1%F.S/℃

  泄 漏 率:<2×10-8atm.ml/s(He)

  预热时间:15min

  供 电:24vdc

  模拟信号:0…5vdc或4…20mA

  数字信号:液晶显示 RS232 RS485(Modbus-RTU)

  本体材质:SS316不锈钢

  最大耐压:30bar(可选60bar)

  连接方式:卡套式连接(可选螺纹连接 面密封VCR或其他连接方式)

  密封材质:氟橡胶 丁晴橡胶 全氟橡胶(特殊可根据客户要求定制)


  技术选型

  序 列 号: K90

  产品类型: 【C】质量流量控制器 【M】质量流量计

  耐压等级: 【L】低耐压 30bar 【H】高耐压 60bar

  介质类型: 由厂家选择

  流量范围: 【010C】10mln/min 【020C】20mln/min 【030C】30mln/min

                    【050C】50mln/min 【100C】100mln/min 【200C】200mln/min

                    【300C】300mln/min 【500C】500mln/min 【001L】1ln/min

                    【002L】2ln/min 【003L】3ln/min 【005L】5ln/min

                    【010L】 10ln/min 【020L】20ln/min 【030L】30ln/min

  供电类型: 【S】24vdc 【D】+15…24vdc

  模 拟 信 号: 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA

  数字信号: 【R】RS232 【M】RS485(Modbus-RTU)

  密封材质: 【V】氟橡胶 【T】EPDM 【N】氯丁橡胶 【B】丁晴橡胶 【Y】其他                                    

  接头尺寸: 【A】φ3 【B】6 【C】8 【G】1/8” 【H】1/4” 【Y】其他